電力行業，‌高壓電力設備監測‌，包括高壓開關、斷路器、GIS（氣體絕緣開關設備）、SF₆變壓器等設備內部氣體濃度的實時監測，預防泄漏導致的設備故障或安全隱患。對變電站、配電室、開關室等場所進行環境監測，確保作業人員安全，避免因氣體泄漏引發缺氧風險‌。
化工及工業生產場所，在六氟化硫作為原料或惰性保護氣體的化工流程中（如半導體蝕刻、金屬加工），需檢測工作環境中的氣體濃度以保障生產安全。

在‌特殊工業場景，包括采油、冶煉、隧道施工、汙水處理等領域，監測可能因設備泄漏或工藝產生的SF₆氣體。
環保與安全管理，‌環保排放監測，針對SF₆作為溫室氣體的特性，環保部門需對電力設備、化工廠等排放源進行監測，減少溫室效應影響‌。在‌倉儲與儲罐區存儲SF₆氣體或相關產品的倉庫、儲罐區需安裝檢測裝置，防範泄漏事故‌。
一些‌實驗室環境，涉及SF₆氣體研究的實驗室需監測濃度，確保實驗安全‌。在‌特殊行業應用，包括航空航天、軍用設備、製藥等領域中SF₆相關設備的泄漏檢測‌。